环球看点!机器人:公司半导体装备业务产品主要为自主研发的真空机械手及集束型设备
2023-05-25 00:27:48 | 来源:同花顺iNews |
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同花顺(300033)金融研究中心5月24日讯,有投资者向机器人(300024)提问, 公司是否涉及高端半导体装备领域?目前进展如何?
公司回答表示,您好,公司半导体装备业务产品主要为自主研发的真空机械手及集束型设备,包括:大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台,主要应用在刻蚀、CVD、PVD、CMP、Descum、立式炉等工艺环节及领域,服务的下游行业是半导体工艺设备厂商。公司半导体装备业务的具体情况,请您查阅公司《2022年年度报告》。
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